一、定义与应用场景

石墨舟烘箱（石墨舟烘烤箱）是光伏行业专用洁净热风干燥设备，核心用于PECVD镀膜工序，石墨舟酸洗清洗后的烘干脱水，是太阳能电池片产线标准配套设备。

石墨舟=高纯石墨加工组装而成的硅片承载工装，存在大量微小孔隙，特别容易吸水， 这就是为什么必须用石墨舟烘箱长时间烘干！

工艺流程节点：

硅片放入石墨舟后，石墨舟推入PECVD 炉镀膜（镀减反膜），使用一段时间后，舟表面会沉积大量氮化硅薄膜，影响镀膜质量。石墨舟在酸洗槽用氢氟酸清洗，把表面膜层腐蚀掉后，用纯水反复漂洗，在压缩空气初步吹水后，进入【石墨舟烘箱】120℃左右恒温烘干 6～10 小时（去除石墨微孔吸附水分），如果烘不干，残留水汽进入PECVD炉，镀膜会出现针孔、色差、大量不良片。烘干冷却完成后重新装硅片上机循环使用。

二、整机结构组成

1. 箱体

内胆：SUS304 / SUS316L不锈钢，满氩弧焊、内壁抛光；表面喷涂特氟龙（PTFE）防腐涂层更佳。作用：抵抗酸洗残留氢氟酸、硝酸腐蚀，不易吸附石墨粉尘，方便清洁。

外壳：冷轧钢板喷塑或全304不锈钢；

保温层：高密度硅酸铝保温棉，厚度100～150mm，降低外壳表面温度、节约能耗；

箱门：单开门/双开门依据尺寸大小选择，硅橡胶耐高温密封条，快速压紧锁扣，保证密闭。

2. 热风循环系统

耐高温不锈钢离心风机，叶轮特氟龙喷涂；

内置不锈钢循环导流风道，水平/垂直送风结构，减少气流死角，风道特氟龙喷涂；

洁净机型配置耐高温HEPA高效过滤器，防止外界粉尘进入污染石墨舟；

可调排气口，持续排出水蒸气。

3. 加热系统

U型不锈钢散热式电热管，不易氧化；

加热元件布置于两侧风道，不直接辐射工件，升温更加平缓；

功率根据腔体尺寸定制。

4. 进料载物方式（石墨舟专用）

不锈钢特氟龙涂层料架推车/分层托架，层间距按照标准石墨舟尺寸定制；支持台车进出料。

5. 电气控制系统

温控仪表：智能程序温控仪，PID+SSR固态继电器无触点输出；可升级PLC触摸屏，操作更方便。

传感器：K型热电偶，多点测温；

功能：恒温定时、多段升温曲线、运行计时；

安全保护：超温独立保护、风机过载保护、相序保护、声光报警、定时结束提醒；

三、设备分类

标准热风循环石墨舟烘箱（市面主流）：常压空气循环，性价比最高，绝大多数光伏产线选用；

洁净充氮型石墨舟烘箱：可通入高纯氮气，降低内腔氧含量，防止石墨轻微氧化，用于高端N型电池产线；

台车式大型石墨舟烘箱：箱体大、内置移动台车，适合大批量加工；

连续式链式石墨舟烘箱（自动化产线）：前后进出料，分段温区连续烘干，用于全自动石墨舟清洗线配套

四、核心设计要求

防腐优先：建议工作室、风道、承载推车等接触空气金属面特氟龙涂层，抵御酸雾腐蚀；

低粉尘设计：工作室内胆无毛刺、光滑抛光，减少石墨碎屑堆积；

温度均匀性要求极高：温差过大易导致石墨舟干湿不均，镀膜批量不良；

缓慢升温控制：避免石墨舟冷热急剧变化产生微裂纹；

易清洁结构：无隐蔽死角，方便日常擦拭清理石墨粉尘。

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