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石墨舟脱水烘干箱

石墨舟脱水烘干箱

  • 型号:TT100606-150

    电加热,鼓风热循环-内尺寸高1000宽600深600-150℃

    烘箱为定制产品,根据不同

    要求定制,欢迎添加客服微信

    电话:13912750333

    网址:www.ttoven.com

    邮箱:13912750333@163.com

     

  • 产品概述

主要参数:

温度范围:室温+30℃~150℃(可任意调节)

加热能耗:升温状态全功率输出,恒温状态低功率输出,低耗节能

温控方式:采用PID微电脑烘箱专用温控系统,操作简单,控温可靠。

结构特性:双层钢板箱体(SECC外壳+SUS不锈钢内胆)

热风方式:双风道热风循环加热(SUS不锈钢循环风道结构)


常用规格表:(可根据客户要求定制)

型号

工作室尺寸(mm)

温度范围(℃)

电源

TT100808-200

1000宽800深800

室温~200℃

室温~300℃

室温~400℃

 

AC380V 50Hz

三相五线

TT151210-200

1500宽1200深1000

TT151510-200

1500宽1500深1000

TT152010-200

1500宽2000深1000

TT151515-200

1500宽1500深1500

TT151520-200

1500宽1500深2000

TT202020-200

2000宽2000深2000

TT202030-200

2000宽2000深3000


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石墨舟烘箱(石墨舟烘烤箱)是光伏行业专用洁净热风干燥设备,核心用于PECVD镀膜工序石墨舟酸洗清洗后的烘干脱水,是太阳能电池片产线标准配套设备。

石墨舟=高纯石墨加工组装而成的硅片承载工装,存在大量微小孔隙,特别容易吸水 这就是为什么必须用石墨舟烘箱长时间烘干!

工艺流程节点:

硅片放入石墨舟后,石墨舟推入PECVD 炉镀膜(镀减反膜)使用一段时间后,舟表面会沉积大量氮化硅薄膜,影响镀膜质量石墨舟酸洗槽用氢氟酸清洗,把表面膜层腐蚀掉后,用纯水反复漂洗,在压缩空气初步吹水后,进入【石墨舟烘箱】120℃左右恒温烘干 610 小时(去除石墨微孔吸附水分)如果烘不干,残留水汽进入PECVD炉,镀膜会出现针孔、色差、大量不良片。烘干冷却完成重新装硅片上机循环使用

州通泰节能烘箱有限公司专业定制各类工业烘箱、工业烤箱、隧道炉、电热烘箱、热风循环烘箱、鼓风干燥箱、高温烘箱、真空烘箱、蒸汽烘箱、油桶烘箱等产品。产品广泛应用于各行业基础生产的测试及生产制造,电池电容烘箱、汽车部件烘箱、电力铜牌烘箱、电机锭子烘箱、复合材料固化烘箱、塑料制品烘箱、橡胶制品烘箱齿轮轴承热套烘箱粉末材料烘箱五金电镀烤漆热处理烘箱光伏/硅材料烘箱、模具烘箱、金属制品烘箱特氟龙涂层烧结烘箱、胶水烘干烘箱、食品工业烘箱陶瓷材料烘箱、军工航天烘箱等。各类温控设备应用于干燥、聚合、固化、硫化、预热、热处理、原料融化保温、部件老化、材料的稳定化、高温试验等。是一家专注于节能烘箱及加热设备研发、生产、销售的现代化制造企业,深耕烘箱设备领域,以高效节能技术为核心竞争力,为电子制造医药、食品加工、五金电镀、汽车制造、化工原料、新能源、特氟龙、塑料橡胶、航空航天、实验室等多行业提供专业定制烘箱解决方案。网址:www.ttoven.com。业务电话:13912750333

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