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洁净烘箱又称无尘烤箱、净化干燥箱,是专为精密工艺设计的高温+无尘一体化热处理设备。区别于常规工业烘箱,核心增加耐高温HEPA高效过滤内循环系统,工作室内密闭自循环除尘,同时实现高精度控温,有效避免粉尘污染晶圆、芯片、光学元件等精密工件。
1.热风密闭循环
内置耐高温离心风机,热风在箱体内胆-风道-过滤器内部密闭循环,极少与外界空气交换,隔绝车间粉尘进入工作室。
2.高温高效过滤净化
循环风强制穿过耐高温HEPA高效过滤器,过微细颗粒;设备开机自净后,稳定达到对应洁净等级。
3.均匀温控加热
不锈钢电加热管供热,风道优化侧送侧回/底送中回结构,工作室内全域无温场死角,设备内部温度均匀性更好。
4.密封防二次灰尘无污染
内胆采用镜面不锈钢满焊,无积尘缝隙;门体采用耐高温硅橡胶密封,整机内部自身不产生颗粒污染。
1. 箱体结构(三层结构防漏尘)
外壳:不锈钢外壳,易清洁,耐腐蚀,耐高温,工作时,防烫伤;
隔热层:高密度硅酸铝耐高温保温棉,有效防止热量外泄、降低能耗,工作时外壳热度低;
内胆(核心洁净层):SUS304/SUS316L镜面不锈钢,全满焊无焊缝,无油污毛刺、不易积尘,便于清洁;
门体:单开门/双开门/前后贯通门,耐高温密封条,锁热效果好。
2. 热风循环与净化系统
耐高温离心循环风机(全不锈钢叶轮,不生锈产尘);
高温HEPA过滤器:铝框+耐高温玻纤滤材,耐温可达350℃,陶瓷密封胶,可定期更换;
风道:根据产品设置垂直/水平风道,保证气流全覆盖无死角。
3. 加热系统
发热元件:不锈钢铠装电加热管,无粉尘脱落;
控温元件:K型高精度热电偶,工作室内多点测温;
驱动:SSR固态继电器无触点控温,升温平稳无冲击。
4. 智能控制系统
智能温控仪表:数显PID温控仪,智能控温,控温精准,自动恒温;升级配置PLC触摸屏,一件操作,更省时便捷。
安全模块:超温报警、超温断电、风机过载、加热过流、漏电保护、蜂鸣声光警报、密码锁屏。
5. 可选附加
充氮无氧系统:注入高纯氮气,防止金属/高分子高温氧化(半导体铜基板、聚酰亚胺专用);
真空系统:真空洁净烘箱,低气压无尘干燥,适配易氧化、高挥发材料;
废气排放口:有机胶、油墨烘烤时排出挥发物;
物料台车/层架:不锈钢冲孔搁板,承重强、通风均匀;
压差表:监测过滤器堵塞程度,提醒更换滤网等附加配件。
1. 按放置形式
台式小型洁净烘箱:实验室研发、小批量试样,220V供电;
立式工业单/双门烘箱:量产车间通用;
台车式洁净烘箱:大型工件、批量生产,内置轨道可推料车;
前后贯通隧道洁净烘箱:流水线连续生产,自动化上下料。
2. 按环境气氛
普通空气洁净烘箱:常态空气循环,通用烘烤;
充氮无氧洁净烘箱:氮气置换除氧,防氧化;
真空洁净烘箱:真空+无尘双环境,高精密材料专用。
3. 按洁净等级
百级、千级、万级洁净烘箱(最常用的三类)。
半导体/微电子:硅晶圆涂胶坚膜、IC封装银胶固化、芯片老化、玻璃载板烘烤等;
光电显示:LCD、OLED基板、光学镜头、滤光片烘干,杜绝粉尘造成黑点不良;
精密光学/航天:光学镜片镀膜固化、航空精密合金去应力;
生物医药:医用器械、无菌耗材烘干,洁净灭菌;
PCB与电子元件:电路板绿油固化、精密电阻电容干燥;
实验室科研:材料热老化、高分子固化、无尘高温实验。
杜绝粉尘不良:闭环过滤,高温环境持续无尘,大幅降低产品报废率;
温场高度均匀:优化风道设计,整批工件烘烤一致性好;
自身不产尘:全不锈钢内胆,无锈蚀、无脱落碎屑;
安全防护完善:多重过热、过载、漏电保护;
自动化程度高:可编程曲线控温;
适配特殊工艺:可集成氮气、真空、废气处理,满足无氧、低挥发需求。
苏州通泰节能烘箱有限公司专业定制各类工业烘箱、工业烤箱、隧道炉、电热烘箱、热风循环烘箱、鼓风干燥箱、高温烘箱、真空烘箱、蒸汽烘箱、油桶烘箱等产品。产品广泛应用于各行业基础生产的测试及生产制造,电池电容烘箱、汽车部件烘箱、电力铜牌烘箱、电机锭子烘箱、复合材料固化烘箱、塑料制品烘箱、橡胶制品烘箱、齿轮轴承热套烘箱、粉末材料烘箱、五金电镀烤漆热处理烘箱、光伏/硅材料烘箱、模具烘箱、金属制品烘箱、特氟龙涂层烧结烘箱、胶水烘干烘箱、食品工业烘箱、陶瓷材料烘箱、军工航天烘箱等。各类温控设备应用于干燥、聚合、固化、硫化、预热、热处理、原料融化保温、部件老化、材料的稳定化、高温试验等。是一家专注于节能烘箱及加热设备研发、生产、销售的现代化制造企业,深耕烘箱设备领域,以高效节能技术为核心竞争力,为电子制造、医药、食品加工、五金电镀、汽车制造、化工原料、新能源、特氟龙、塑料橡胶、航空航天、实验室等多行业提供专业定制烘箱解决方案。公司网址www.ttoven.com 欢迎咨询:13912750333
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